【资料图】
苏州盛拓半导体科技有限公司成立于2021年8月，占地面积4000平。公司从事半导体制造设备领域关键零部件与整机集成系统的研发、设计、生产、销售与技术服务，致力于为客户提供半导体设备一站式解决方案。
公司主营产品：光刻机用特种电机和真空水冷特种电机、接近式光刻机、激光干涉仪、微环境控制系统、超精密控制板卡、气浮块、纳米级精密运动台、晶圆机械手ROBOT、预对准模组Pre-Aligner及Efem等产品。
量测一体化标准平台
量测一体化标准平台是面向晶圆缺陷检测和尺寸量测的一体化设备。凭借专业的研发团队在结构、核心部件、关键技术方面的不断的设计优化，使一体化平台运动平台能够达到微米至纳米级的定位精度及重复定位精度。一体化平台可搭载不同精度的运动平台、隔振系统及EFEM，可以满足不同客户的需求。
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